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微机械电子系统及其应用

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微机械电子系统及其应用

最 低 价：￥12.60

定 价：￥16.00

作 者：刘广玉 著

出 版 社：北京航天航空大学出版社

出版时间：2003-2-1

I S B N：9787810771832

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    编辑推荐

    内容简介
    本书综合当前公开发表的大量有关微机电系统（MEMS）的科技文献和我们近几年研究工作的成果，主要介绍当今微机电系统的内容、应用及其发展。内容包括微机电系统的组成和应用、微机电系统功能材料、微机械制造技术、微机械执行器、微机械传感器及微弱信号检测与处理6部分。
    全书内容丰富、图文恰当、新颖实用。可作为高校有关专业研究生和高年级大学生的教材，也可供检测与控制等微工程领域的工程技术人员参考。

    作者简介

    目录
    1，微机电系统的组成和应用
    2，微机电系统功能材料
    3，微机械制造技术
    4，微机械执行器
    5，微机械传感器
    6，微机械弱信号检测与处理

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