| 《金属有机化合物气相外延基础及应用（精）》是国内第一本全面系统地介绍金属有机化合物气相外延（MOVPE）的专著。全书共10章：第1章概述；第2章生长系统；第3章原材料；第4章MOVPE生长热力学和反应动力学；第5章MOVPE反应室内的输运现象与模型化；第6章MOVPE中的表面过程；第7章Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的MOVPE生长；第8章Ⅱ-Ⅵ族半导体的MOVPE生长；第9章低维结构的MOVPE生长；第10章MOVPE技术在器件方面的应用。《金属有机化合物气相外延基础及应用（精）》反映了国内外该研究领域的最新进展，并附有大量的参考文献。在写作风格上，以大学高年级学生水平为出发点，突出物理内容，避免冗长公式，深入浅出。 |
| 前言 第1章绪论 1.1 外延生长 1.2 MOVPE概述 参考文献 第2章 MOVPE生长系统 2.1 MOVPE气体输运分系统 2.2 MOVPE生长反应室分系统 2.3 MOVPE尾气处理分系统 2.4 MOVPE生长控制装置分系统 2.5 MOVPE外延层生长的原位监测 参考文献 第3章 原材料 3.1 金属有机化合物源 3.2 氢化物源 参考文献 第4章 MOVPE的热力学分析 4.1 外延生长速度的限制机构 4.2 MOVPE生长的固溶体固相成分与气相成分关系 4.3 MOVPE生长相图与单凝聚相生长区 4.4 掺杂 参考文献 第5章 MOVPE化学反应动力学和质量输运 5.1 MOVPE化学反应动力学 5.2 MOVPE反应室内的输运现象与模型化 5.3 MOVPE化学反应一输运模型的应用 参考文献 第6章 MOVPE的表面过程 6.1 表面成核 6.2 外延生长模式 6.3 MOVPE环境下的表面再构 &n |
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