| 本书主要从普及的角度系统地介绍了各类微型传感器的基本原理，包括力与压力微传感器、速度与加速度微传感器、热微传感器、磁微传感器、化学微传感器、生物微传感器、光电微传感器、以及声表面波传感器。内容系统全面、信息量大，涉及机电、光、热、磁、化学、生物等方面，有助于读者对微传感器有一个比较全面的了解。可供从事机械电子、自动控制、仪器仪表、传感器及其应用等有关方面的工程技术人员使用，同时也可供科研院所、设计部门以及大专院校的有关师生参考。 |
| 第1章 引言 1.1 传感器 1.2 传感器的发展 1.3 微传感器 第2章 微机电系统基础 2.1 微机电系统定义 2.1.1 基础理论 2.1.2 技术基础 2.1.3 应用研究 2.2 微机电系统材料 2.2.1 硅 2.2.2 形状记忆合金 2.2.3 压电材料／电致伸缩材料 2.2.4 磁致伸缩材料 2.2.5 电流变体 2.2.6 凝胶 2.3 微机电系统的主要工艺 2.3.1 硅微加工 2.3.2 键合技术 2.3.3 LIGA技术 2.3.4 准分子激光技术 2.3.5 特种精密加工技术 第3章 力和压力微传感器 3.1 力微传感器 3.1.1 应变式力微传感器 3.1.2 压电式力微传感器 3.2 压力微传感器 3.2.1 压阻式压力微传感器 3.2.2 电容式压力微传感器 3.2.3 谐振式压力微传感器 3.3 摩托罗拉X型硅压力微传感器 3.3.1 结构形式 3.3.2 分类 3.3.3 封装形式 3.4 应用实例：微型高度计 第4章 加速度和角速度微传感器 4.1 加速度微传感器 4.1.1 加速度微传感器工作原理 4.1.2 压阻式加速度微传感器 4.1.3 电容式加速度微传感器 4.1.4 谐振式加速度微传感器 4.1.5 伺服式加速度微传感器 4.1.6 隧道型加速度微传感器 4.1.7 加速度微传感器的应用 4.2 角速度微传感器 4.2.1 微机械陀螺的原理、分类与性能 4.2.2 音叉式微机械陀螺 4.2.3 框架式微机械陀螺 4.2.4 振动轮式微机械陀螺 4.3 微惯性测量组合 第5章 热微传感器 5.1 微型热电偶 |
![MPLS技术与实现[按需印刷]](http://images.china-pub.com/ebook/8455/zcover.jpg)
内容加载中，请稍后...
商品评论（0条）