| 微流控技术是新世纪分析化学发展的前沿和热点，本书全面系统地介绍了该领域国内外的发展状况和最新成果。本书适合于有关科研机构的研究人员、大中专院校相关专业师生、化学和生物等相关检验部门的工作人员以及其他行业的技术人员学习参考。 |
| 第1章 绪论 1.1 创新分析测试技术在21世纪科技发展中的地位 1.2 微型全分析系统和微流控芯片发展概况 1.3 微流控技术（Microfluidics）的定义 1.3.1 关于“Microfluidics”一词的中文译名 1.3.2 关于微流控技术的定义 1.4 微流控分析系统的特点 1.4.1 微流控分析芯片的结构与功能特征 1.4.2 微流控芯片与微阵列芯片（生物芯片）的区别 1.5 微流控技术与微流控芯片的发展趋势 1.5.1 引言 1.5.2 检测系统的微型化与集成化 1.5.3 试样引入与前处理系统的微型化和集成化 1.5.4 微流控芯片的规模集成化 1.5.5 专用型微流控分析仪器的发展 1.5.6 微流控分析的重点应用领域 参考文献 第2章 微加工技术基础 2.1 概述 2.2 材料 2.2.1 硅 2.2.2 石英和玻璃 2.2.3 硬质高分子聚合物 2.2.4 弹性聚合物 2.2.5 光敏聚合物 2.2.6 其他材料 2.3 光刻 2.3.1 掩膜制备 2.3.2 光刻胶 2.3.3 曝光及显影 2.3.4 刻蚀 2.3.5 高分辨刻蚀 2.4 聚合物芯片加工 2.4.1 原位成型法 2.4.2 注塑法 2.4.3 热压法 2.4.4 激光烧蚀 2.4.5 其他加工法 2.5 芯片的封合 2.5.1 热封合 2.5.2 胶黏剂封合 2.5.3 表面活化辅助封合 2.6 表面微加工 2.6.1 化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition,CVD) 2.6.2 物理气相沉积 2.6.3 无极电镀 2.7 软刻蚀(Soft Lith |
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