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作 者:(捷克)维捷斯拉夫﹒本达(VitezslavBenda) (英)邓肯 A.格兰特(Duncan A.Grant) 著
出 版 社:化学工业出版社
出版时间:2005-05
I S B N:7502568026
| 本书较全面地讲述了现有各类重要功率半导体器件的结构、基本原理、设计原则和应用特性,有机地将功率器件的设计、器件中的物理过程和器件的应用特性联系起来。 |
| 1 半导体的性质 1.1 带电载流子和半导体能带结构 1.2 自由载流子浓度 1.3 半导体的电导率 1.3.1 决定电导率的因素 1.3.2 决定硅中载流子迁移率的因素 1.4 过剩载流子的产生与复合 1.4.1 平衡和非平衡条件 1.4.2 通过局域陷阱中心的复合 1.4.3 其他复合过程 1.5 载流子的扩散和漂移 1.6 非均匀掺杂的影响 总结 参考文献 2 基本的半导体结构 2.1 pn结及其基本性质 2.1.1 电流电压特性 2.1.2 反向偏置 2.1.3 电击穿 2.1.4 热击穿和热奔 2.1.5 光照对pn结特性的影响 2.1.6 pn结的瞬态特性 2.2 nn+和pp+结 2.3 表面效应和MOS结构 2.4 金属半导体接触 2.4.1 整流(肖特基)接触 2.4.2 欧姆接触 总结 参考文献 3 器件、制造和模拟 3.1 各类功率半导体器件 3.1.1 功率二极管 3.1.2 常规的双极功率晶体管 3.1.3 晶闸管结构 3.1.4 结型场效应(静电感应)器件 3.1.5 功率MOS结构1:功率MOSFET 3.1.6 功率MOS结构2:绝缘栅双极晶体管(IGBT) 3.1.7 功率MOS结构3:MOS控制晶闸管(MCT) 3.1.8 器件特性总结 3.2 制造工艺 3.2.1 高纯度单晶硅的制备 3.2.2 硅片制备 3.2.3 外延生长 3.2.4 热氧化 3.2.5 光刻 3.2.6 刻蚀工艺 3.2.7 杂质的引入及再分布1:扩散 3.2.8 杂质的引 |
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