| 1 绪论 1.1 何为真空 1.2 真空度的表征及真空区域的划分 1.3 真空技术的历史回顾 1.4 不同真空状态下的真空工艺技术 1.5 真空技术的应用领域 2 稀薄气体分子运动理论 2.1 气体在平衡状态下的物理特性 2.2 气体的迁移过程 2.3 蒸发和凝结 3 吸附与脱附 3.1 吸附现象及吸附机理 3.2 吸附和脱附过程的描述 3.3 溶解和渗透 4 真空中的电现象 4.1 电子发射 4.2 气体放电 5 真空中的气体流动 5.1 气体流动状态及其判别 5.2 气体的流量和管道流导 . 5.3 简单管道的流导计算 6 真空泵的分类和性能 6.1 真空泵的分类 6.2 真空泵性能的表示法 6.3 真空泵的用途及使用范围 6.4 真空泵的型号及规格表示法 7 容积式真空泵 7.1 液环真空泵 7.2 往复式真空泵 7.3 油封机械泵 7.4 罗茨真空泵 7.5 干式真空泵 8 动量传递式真空泵 9 气体捕集式真空泵 10 真空测量 11 真空检漏 12 真空系统的组成 13 真空系统元件及连接 14 真空系统中常用材料和真空卫生 15 真空系统的设计计算 参考文献 |
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