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超大规模集成电路衬底材料性能及加工测试技术工程

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最低价：￥9.90

定价：￥39.50

作者：刘玉岭等编著著

出版社：冶金工业出版社

出版时间：2002-8-1

I S B N： 9787502430504

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内容简介

本书介绍了作为超大规模集成电路衬底材料硅的性能、硅单晶衬底的加工工艺以及相关的测试技术。

作者简介

刘玉岭，河北工业大学教授、博士生导师，河北工业大学微电子技术与材料研究所所长。合编著有《超大规模集成电路衬底材料性能及加工测试技术工程》等。

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