| 本书可供从事材料科学与工程的研究人员，有关的工程技术人员，特别是从事金刚石薄膜的科技工者阅读；也可供材料专业高年级学生、研究生从事金刚石薄膜研究时参考。 |
| 第1章 概论 1 金刚石薄膜的优异性能及其应用前景 …… 第2章 金刚石薄膜沉积的非平衡势力学与形成机理 1 概述 …… 第3章 金刚石薄膜沉积生长的动力学因素与动力学方程 1 金刚石薄膜沉积生长的一些动力学因素 …… 第4章 高速大面积沉积金刚石薄膜的装置 1 大面积沉积金刚石薄膜的热丝CVD装置 …… 第5章 金刚石膜沉积工艺 1 金刚石膜的主要沉积方法和成膜生长概述 …… 第6章 类金刚石薄膜（DLC膜） 1 DLC膜的概述与表征 …… 第7章 结语与展望 1 金刚石膜进展概况 |
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