MOS集成电路工艺与制造技术

《MOS集成电路工艺与制造技术》编著者潘桂忠。
本书技术含量高，非常实用，可作为从事MOS集成电路制造、设计等方面工程技术人员重要的参考资料，也可以作为微电子专业高年级本科生的、重要参考书，亦可供信息领域其他专业的学生和相关科研人员、工程技术人员参考。
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