俄歇电子能谱分析方法通则

前言
1范围
2规范性引用文件
3术语和定义
4方法原理
5仪器
　5．1仪器组成
　5．2仪器性能
6样品
7分析步骤
　7．1能量标尺校正
　7．2 AES定性分析及操作步骤
　7．3俄歇电子能谱的定量分析
　7．4深度剖析
　7．5元素化学态分析
8分析结果的表述
　8．1俄歇全谱
　8．2窄谱
　8．3线扫描谱
　8．4深度剖析谱
　8．5多点显微对比分析
　8．6样品表面元素分布图(Auger map)
　8．7分析结果表述方式
图1 KL1L3俄歇跃迁
图2俄歇电子能谱简图
图3 Cu、Au和Al三个参考物质的直接谱和微分谱(相对能量分辨率0．3％)
表1参考物质的俄歇电子动能参考值