| 本书是在《真空》杂志连载的“真空技术讲座”内容的基础上，进行了大量的修改和补充，使基础理论知识更加系统化，实践应用上的内容更加丰富充实，增加了许多高科技领域、新型真空材料的内容。本书可供从事真空工程、低温工程、表面与薄膜技术、流体机械、航空航天技术等领域的工程技术人员在真空系统设计、应用、维护、检修时参考，也可作为真空技术、过程装备与控制、应用物理、流体机械、低温工程、机械设计与制造等专业学生(本科生和研究生)的教材或参考书。 |
| 1 真空材料概述 1.1 真空材料的分类 1.2 电真空材料的分类与特性 1.2.1 电真空材料的分类 1.2.2 电真空材料的特性 1.3 真空系统平衡方程 2 材料的气体渗透与扩散 2.1 气体分子的溶解与渗透 2.2 影响溶解度的因素 2.2.1 环境气压对溶解度的影响 2.2.2 温度对溶解度的影响 2.2.3 气体一固体配组的性质对溶解度的影响 2.3 不同材料中的气体溶解度 2.3.1 气体在金属中的溶解度 2.3.2 气体在非金属材料中的溶解度 2.4 气体扩散方程 2.5 气体渗透速率 2.5.1 气体对平板壁的渗透 2.5.2 气体对圆筒壁的渗透 2.5.3 气体对球形壁的渗透 2.5.4 不同气体一固体配组的渗透性能 3 材料的放气 4 材料的蒸发、升华与凝结 5 真空材料的其他性能与选材要求 6 金属材料 7 磁性材料 8 溅射镀膜靶材 9 非金属材料 10 辅助密封材料 11 吸气剂与吸附剂 12 真空工程用油 13 真空工程中的常用气体 14 低温制冷系统工作介质 参考文献 |
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