最 低 价：￥12.40
定 价：￥16.00
作 者：本社 编 著
出 版 社：中国标准出版社
出版时间：2011-6-1
I S B N：155066142732
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC／TC 203／SC 2)归口。本标准起草单位：有研半导体材料股份有限公司、万向硅峰电子股份有限公司。本标准主要起草人：杜娟、孙燕、卢立延、楼春兰。
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