硅退火片规范 GB/T 26069-2010

    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC／TC 203／SC 2)负责归口。
    本标准起草单位：万向硅峰电子股份有限公司、有研半导体材料股份公司、宁波立立电子股份有限公司和杭州海纳半导体有限公司共同负责起草。
    本标准主要起草人：楼春兰、孙燕、朱兴萍、宫龙飞、王飞尧、黄笑容、方强、汪成生、程国庆。