
| 赵晓锋,男,黑龙江省兰西县人,工学博士,黑龙江大学电子工程学院副教授,硕士研究生导师。参加国家自然科学基金项目1项,承担黑龙江省教育厅项目1项,承担并完成黑龙江省电子工程重点实验室项目、黑龙江大学青年科学基金项目、黑龙江大学教改项目各1项。在SCl、El等学术期刊上发表学术论文14篇,参加主编教材1部,申请发明专利1项。 |
| 第1章 绪论 1.1 引言 1.2 多功能传感器研究现状 1.3 MOSFET压力传感器研究现状 1.4 MOSFET磁传感器研究现状 1.5 纳米硅/单晶硅异质结研究现状 1.6 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究目的和意义 1.7 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究的主要内容 第2章 纳米硅薄膜制备及表征研究 2.1 纳米硅薄膜 2.2 PECVD制备多晶硅薄膜 2.3 LPCVD制备纳米硅薄膜 2.4 小结 第3章 MOSFETs压/磁多功能传感器理论分析 3.1 MOSFETs压/磁多功能传感器理论模型 3.2 MOSFETs压/磁多功能传感器理论分析 3.3 小结 第4章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏结构设计和电源激励方式 4.1 半导体材料压阻效应基本理论 4.2 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏结构设计 4.3 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏结构电源激励方式 4.4 小结 第5章 纳米石圭/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器磁敏结构设计和工作原理 5.1 霍尔效应 5.2 纳米硅/单晶硅异质结p—MOSFET Hall器件基本结构及工作原理 5.3 纳米硅/单晶硅异质结P—MOSFET Hall器件串联输出结构及工作原理 5.4 小结 第6章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器基本结构与制作工艺 6.1 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器基本结构 6.2 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器制作工艺 6.3 小结 第7章 实验结果与讨论 7.1 纳米多晶硅薄膜压阻特性 7.2 纳米硅/单晶硅异质结p-MOSFET特性 7.3 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏特性 7.4 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器磁敏特性 7.5 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压/磁特性 7.6 小结 第8章 结论 参考文献 |
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