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纳米硅\单晶硅异质结MOSFETs压\磁多功能传感器研究

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纳米硅\单晶硅异质结MOSFETs压\磁多功能传感器研究

最 低 价:¥19.70

定 价:¥25.00

作 者:赵晓锋

出 版 社:黑龙江大学出版社

出版时间:2009-08-01

I S B N:9787811291261

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内容简介

  《纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究》在温殿忠教授提出的JFET压/磁电效应基本理论基础上,给出MOSFETs压/磁多功能传感器在外加压力P≠O、外加磁场B=O;外加压力P≠O、外加磁场B=O;外加压力P≠O、外加磁场8≠O;外加压力P≠O、外加磁场B≠O四种情况下的基本理论分析。采用CMOS工艺和MEMS技术设计、制作以纳米硅/单晶硅异质结为源极(S)和漏极(D)的MOSFETs压/磁多功能传感器。《纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究》设计、制作的纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器能够完成压力和磁场的检测,具有良好的压敏特性和磁敏特性,可实现压/磁检测的集成化和一体化,对传感器的小型化、多功能化、集成化和一体化发展具有重要意义。

作者简介

  赵晓锋,男,黑龙江省兰西县人,工学博士,黑龙江大学电子工程学院副教授,硕士研究生导师。参加国家自然科学基金项目1项,承担黑龙江省教育厅项目1项,承担并完成黑龙江省电子工程重点实验室项目、黑龙江大学青年科学基金项目、黑龙江大学教改项目各1项。在SCl、El等学术期刊上发表学术论文14篇,参加主编教材1部,申请发明专利1项。

目录

第1章 绪论
1.1 引言
1.2 多功能传感器研究现状
1.3 MOSFET压力传感器研究现状
1.4 MOSFET磁传感器研究现状
1.5 纳米硅/单晶硅异质结研究现状
1.6 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究目的和意义
1.7 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究的主要内容

第2章 纳米硅薄膜制备及表征研究
2.1 纳米硅薄膜
2.2 PECVD制备多晶硅薄膜
2.3 LPCVD制备纳米硅薄膜
2.4 小结

第3章 MOSFETs压/磁多功能传感器理论分析
3.1 MOSFETs压/磁多功能传感器理论模型
3.2 MOSFETs压/磁多功能传感器理论分析
3.3 小结

第4章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏结构设计和电源激励方式
4.1 半导体材料压阻效应基本理论
4.2 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏结构设计
4.3 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏结构电源激励方式
4.4 小结

第5章 纳米石圭/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器磁敏结构设计和工作原理
5.1 霍尔效应
5.2 纳米硅/单晶硅异质结p—MOSFET Hall器件基本结构及工作原理
5.3 纳米硅/单晶硅异质结P—MOSFET Hall器件串联输出结构及工作原理
5.4 小结

第6章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器基本结构与制作工艺
6.1 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器基本结构
6.2 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器制作工艺
6.3 小结

第7章 实验结果与讨论
7.1 纳米多晶硅薄膜压阻特性
7.2 纳米硅/单晶硅异质结p-MOSFET特性
7.3 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏特性
7.4 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器磁敏特性
7.5 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压/磁特性
7.6 小结
第8章 结论
参考文献

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