真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

　　本标准由中国机械工业联合会提出。
　　本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC／TC 18)归口。
　　本标准起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所。
　　本标准主要起草人：邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影。