洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法GB/T 25915.3-2010

GB／T 25915《洁净室及相关受控环境》分为八个部分：
   ——第1部分：空气洁净度等级；
   ——第2部分：证实持续符合GB／T 25915．1的检测与监测技术要求；
   ——第3部分：检测方法；
   ——第4部分：设计、建造、启动；
   ——第5部分：运行；
   ——第6部分：词汇；
   ——第7部分：隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境)；
   ——第8部分：空气分子污染分级。
   本部分是GB／T 25915的第3部分。
   本部分按照GB／T l．1—2009给出的规则起草。

前言
引言
1 范围
2 规范性引用文件
3 术语和定义
  3.1 一般术语
  3.2 空气悬浮粒子测量
  3.3 空气过滤器和过滤系统
  3.4 气流
  3.5 静电测量
  3.6 测量器具和测量条件
  3.7 占用状态
4 检测规程
  4.1 洁净室检测
  4.2 原理
5 检测报告
附录A(资料性附录)检测项目的选择和实施顺序
附录B(资料性附录)检测方法
附录C(资料性附录)检测仪器
参考文献