前言
引言
1 范围
2 规范性引用文件
3 术语和定义
4 要求
4.1 一般要求
4.2 磷化氢气体净化设备的一般要求
4.3 管道设置的一般要求
4.4 磷化氢气体浓度检测仪器
4.5 应急准备与应急响应
5 检测与判定
5.1 泄漏性检测
5.2 磷化氢气体净化设备检测取样IEI磷化氢浓度的检测
5.3 磷化氢实验室检测方法
6 归零延迟时间的计算
附录A(资料性附录) 磷化氢气体净化设备安装调试泄漏性检测记录表
附录B(资料性附录) 磷化氢气体净化设备正式运行泄漏性检测记录表
附录C(资料性附录) 磷化氢气体净化设备检测取样口处的磷化氢气体浓度检测记录表
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