最 低 价:¥12.10
定 价:¥16.00
作 者:本社 著
出 版 社:中国标准出版社
出版时间:2011-7-1
I S B N:155066142614
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC1)归口。 本标准起草单位:西南化工研究设计院、上海计量测试研究院。 本标准主要起草人:陈鹰、周鹏云。
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