微小世界里的新天地：神奇的薄膜

　　在我们的日常生活中,很多人的脑子里都充斥着“薄膜”一词,他们围绕着薄膜夜以继日地开展工作,从事研究、学习和相互交流。可以说制作薄膜、使用薄膜以及从事薄膜相关产业的人遍布世界各地。
　　本书主要介绍了薄膜相关领域的前辈们留下的这一技术中的基础内容。如果读者希望更深入地了解和研究这一领域,可以查找卷末列出的参考书籍和参考文献,从中获取自己需要的相关信息。

　　在我们生活的世界中，各种各样形形色色的事物和现象，其中都必定包含着“科学”的成分。在这些成分中，有些是你所熟知的，有些是你未知的，有些是你还一知半解的。面对未知的世界，好奇的你是不是有很多疑惑、不解和期待呢？！“形形色色的科学”趣味科普丛书，把我们身边方方面面的科学知识活灵活现、生动有趣地展示给你，让你在畅快阅读中收获这些鲜活的科学知识！
　　我们最新式的笔记本电脑和手机在变得越来越小的同时,性能却得到了几倍几十倍的提升。正是因为薄膜这种尖端的纳米技术，我们的生活中才有了大屏幕超薄液晶电视、超大容量存储媒介、越来越轻巧功能却越来越强大的各种电子产品。就让这本书为你生动地讲解一下这项支撑现代高科技社会的基础技术吧。
　　本书适合青少年读者、科学爱好者以及大众读者阅读。

第1章幸福生活从美丽与微观开始
　001展现缤纷色彩的颜料用微小粉末描绘美丽世界002
　002复制美丽——相片彩色相片与数码相机004
　003薄膜技术使机器人不断进化利用薄膜材料与计算机
　进行精密制备006
　004创造五种感官视觉、听觉、嗅觉、味觉与触觉的创造008
　005制造人工智能010
　006我们身边的电子产品都在使用薄膜012
　007利用不分解的压延技术,可以薄到什么程度014
　008制造薄膜与制作精细图案016
　COLUMN真空的含义018
第2章制备薄膜的重要环境条件——真空
　009真空——压强低于大气压的空间状态020
　010真空的单位与压强的单位：帕斯卡(Pa)022
　011抽出和吸附——真空泵的分类024
　012真空的分析和测量真空计026
　013真空装置的制造方法028
　COLUMN质量瞬移030
第3章薄膜的制备
　014薄膜的形成——先气化,再固化沉积032
　015四种气化源034
　016单层生长与形核长大薄膜的生长①036
　017薄膜内部缺陷薄膜的生长②038
　018仅有薄膜还不够薄膜与基板的结合040
　019目标：单晶薄膜042
　COLUMN出身和教育同样重要044viv
第4章薄膜特有的性质
　020薄膜的密度和厚度会随时间减小046
　021薄膜电阻的变化比体材料大048
　022热稳定性降低通过时效处理加以克服05
　COLUMN薄膜和基板的连接052
第5章增强基板与薄膜结合的技术
　023制膜的基础：平整的基板054
　024前期处理：使基板表面完全裸露056
　025前期处理的最后工序：干燥058
　026制备附着强度更强的薄膜060
　027改变气化源、增加附着强度062
　028薄膜与基板的相合性更为重要064
　029着陆点：险峻的山地066
　030得到希望的薄膜组成068
　031制造用于大面积集成电路的非晶薄膜070
　032电迁移断线及其解决方法072
　COLUMN太阳之子——等离子体074
第6章等离子体在薄膜制备中的重要性
　033等离子体的神奇之处及其应用076
　034通过放电获得等离子体078
　035低气压(良好真空)下的磁控放电080
　036产生薄膜用等离子体的五种方法082
　037薄膜制备的难题——尘埃084
　COLUMN望远镜和照相机视场变亮的奥秘086
第7章从古代沿用至今的蒸镀法
　038蒸发源088
　039加工等厚膜的方法090
　040离子镀的使用092
　041进一步发挥离子的作用094
　042防止蒸镀材料与薄膜间的成分变化激光沉积法096
　043制作透明导电的薄膜透明导电薄膜的蒸镀方法098
　COLUMN活学活用100
第8章大面积气化源、适于批量生产的溅射法
　044溅射率是由离子能量和薄膜材料的种类决定的102
　045溅射产生的原子遵循余弦法则且速度非常快104
　046溅射的主要方式106
　047以低电压、定压(高真空)为目标的磁控溅射108
　048支撑半导体IC高集成度发展的铝合金溅射110
　049利用反应溅射制作高性能电阻膜112
　050用溅射法制作氧化物高温超导膜114
　051低电压下制造透明导电膜(氧化物)ITO116
　052薄膜加工的过渡——从平面成膜到微孔成膜118
　053利用离子进行超微细孔的填埋120
　054向高真空、无氩气溅射的过渡122
　COLUMN神奇的过程——从气体到薄膜124
第9章由气体制作薄膜的气相沉积法
　055气体向固体的转变：薄膜的气相沉积126
　056很多的CVD方法已被实用化128
　057CVD法制备IC中至关重要的硅系薄膜130
　058高清彩色电视用的硅薄膜132
　059高诱电率薄膜和低诱电率薄膜的制作134
　060用气相沉积法制备金属导体薄膜136
　061表面改性法制备氧化薄膜、氮化薄膜138
　COLUMN从水(液体)中提取薄膜(固体)140
第10章在液体中制作镀膜
　062镀膜技术的发展142
　063液相镀膜和真空薄膜中的核生长144
　064精密镀膜在电气领域的应用146
　COLUMN用世界上最小的刀进行切削加工148vii
第11章将薄膜加工成电路、晶体管等的蚀刻技术
　065蚀刻法制备图样：在正确的位置加工正确的形状150
　066用气体离子进行蚀刻152
　067最关键的一步——等离子体的制备154
　068反应气体是重要的156
　069决定蚀刻的条件158
　070利用极细离子束进行故障修理160
　071利用CMP进行平坦化处理162
　072无CMP的平坦化技术164
　COLUMN向伟大的梦想前进！166
第12章薄膜发展的无限可能性
　073操控原子，制造未来仪器168
　074薄膜——带动世界通信网络发展170
　075用微动同步器挽救生命172
　076生物计算机的使用174参考文献177