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硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

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硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

最 低 价：￥12.40

定 价：￥16.00

作 者：本社 主编 著

出 版 社：

出版时间：2010-1-1

I S B N：GB/T14141-2009

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    内容简介
    本标准代替GB/T 14141-1993《硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法》。
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出。

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