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硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

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硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

最 低 价:¥12.10

定 价:¥16.00

作 者:本社 主编

出 版 社:凤凰出版社

出版时间:2010-1-1

I S B N:155066139565

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内容简介

本标准个性采用SEMI MF 1188-1105《用红外吸收法测量硅中间隙氧原子含量的标准方法》。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。

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