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苑伟政
| 《泛结构化微机电系统集成设计方法》：西北工业大学出版基金资助项目。 |
| 苑伟政，1961年生，教授，博士生导师，“长江学者”特聘教授。兼任中国微纳米技术学会理事、中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会副理事长、中国机械工程学会微纳制造技术分会委员等，《机械工程学报》《传感技术学报》等编委。主要从事微机电系统研究，留法回国后在国内率先开展了MEMS集成设计、MEMS灵巧蒙皮、微机械准分子激光微细加工技术等前沿研究，并在微能源、微惯性器件以及微光学系统等方面形成了研究特色。获省部级科技一等奖3项、二等奖5项、三等奖5项。常洪龙，1977年生，博士副教授。主要从事微惯性技术、微机电系统集成设计方法及相关技术的研究。近年来，主持了国家自然科学基金2项、国家高技术研究计划（“863”计划）项目2项，作为课题副组长主持完成国家高技术研究计划（“863”计划）项目2项，研发了国产MEMS集成设计工具（MEMS Garden）。发表论文30余篇，申请国家发明专利27项，授权10项，获省部级一等奖2项、二等奖2项、三等奖1项。 |
| 第1章 绪论1.1 微机电系统简介1.2 微机电系统设计工具及设计方法简介1.3 结构化MEMS设计方法及面临的挑战1.4 泛结构化MEMS集成设计方法的提出1.5 小结参考文献第2章 泛结构化MEMS集成设计方法的理论体系2.1 引言2.2 集成设计体系2.3 分层设计体系2.4 柔性设计体系2.5 创成设计体系2.6 三维设计体系2.7 小结参考文献第3章 分层设计体系及实现技术3.1 引言3.2 系统级设计3.3 器件级设计3.4 工艺级设计3.5 小结参考文献第4章 柔性设计体系及实现技术4.1 引言4.2 系统级网表到工艺级二维版图的转换方法4.3 系统级网表到器件级三维实体的转换方法4.4 器件级三维实体到工艺级二维版图的转换方法4.5 器件级到系统级的宏建模转换方法4.6 工艺级二维版图到器件级三维实体的转换方法4.7 工艺级二维版图到系统级模型的转换方法4.8 小结第5章 创成设计体系及实现技术5.1 引言5.2 系统级创成式设计5.3 器件级创成式设计5.4 工艺级创成式设计5.5 小结参考文献第6章 宏建模方法及应用6.1 引言6.2 模型降阶的数学描述6.3 线性MEMS系统宏建模方法6.4 几何非线性MEMS系统宏建模方法6.5 多域耦合MEMS宏建模方法6.6 参数化模型降阶方法6.7 宏建模方法的应用6.8 小结参考文献第7章 三维设计体系及实现技术7.1 引言7.2 系统级的三维设计7.3 器件级的三维设计7.4 工艺级的三维设计7.5 小结参考文献第8章 集成设计体系及实现技术8.1 引言8.2 集成设计工具的架构8.3 集成设计环境的实现8.4 小结第9章 设计工具应用及器件设计实例9.1 引言9.2 平面解耦式z轴陀螺9.3 音叉电容式微机械陀螺9.4 平面单轴加速度计9.5 z轴加速度计9.6 微型压力传感器9.7 小结 |
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