| 姓名：张以忱著 作者简介： 作品：《真空镀膜设备》《真空镀膜技术》 |
| 1 薄膜与表面技术基础理论 1.1 概述 1.2 固体表面介绍 1.2.1 固体材料 1.2.2 固体表面与界面的基本概念 1.2.3 固体表面与界面的区别 1.3 表面晶体学 1.3.1 金属薄膜的晶体结构 1.3.2 理想的表面结构 1.3.3 表面与体内的差异 1.3.4 清洁表面结构 1.3.5 实际表面结构 1.4 表面特征(热)力学 1.4.1 表面力 1.4.2 表面张力与表面自由能 1.4.3 表面扩散 1.5 表面电子学 1.5.1 金属薄膜中的电迁移现象 1.5.2 增强薄膜抗电迁移能力的措施 1.6 界面与薄膜附着 1.6.1 界面层 1.6.2 附着及附着力 1.6.3 固体材料表面能对附着的影响 更多 |
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