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重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

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重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

最 低 价：￥13.10

定 价：￥16.00

作 者：本社 主编 著

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出版时间：2010-1-1

I S B N：GB/T24580-2009

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    内容简介
    本标准附录A和附录B为资料性附录。
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。

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