| 姓名：赵晓锋著著 作者简介： 作品：《纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究》 |
| 第1章 绪论 1.1 引言 1.2 多功能传感器研究现状 1.3 mosfet压力传感器研究现状 1.4 mosfet磁传感器研究现状 1.5 纳米硅／单晶硅异质结研究现状 1.6 纳米硅／单晶硅异质结mosfets压／磁多功能传感器研究目的和意义 1.7 纳米硅／单晶硅异质结mosfets压／磁多功能传感器研究的主要内容 第2章 纳米硅薄膜制备及表征研究 2.1 纳米硅薄膜 2.2 pecvd制备多晶硅薄膜 2.3 lpcvd制备纳米硅薄膜 2.4 小结 第3章 mosfets压／磁多功能传感器理论分析 3.1 mosfets压／磁多功能传感器理论模型 3.2 mosfets压／磁多功能传感器理论分析 3.3 小结 第4章 纳米硅／单晶硅异质结mosfets压／磁多功能传感器压敏结构设计和电源激励方式 4.1 半导体材料压阻效应基本理论 更多 |
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