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硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

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硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

最 低 价：￥13.10

定 价：￥16.00

作 者：本社 主编 著

出 版 社：

出版时间：2010-1-1

I S B N：GB/T13388-2009

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    内容简介
    本标准修改采用SEMI MF87-0705《硅片参考面晶向X射线测试方法》。
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC-TG 203）提出。

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