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真空溅射镀膜设备（JB/T 8945-2010）

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最低价：￥7.00

定价：￥10.00

作者：本社编著

出版社：机械工业出版社

出版时间：2010-7-1

I S B N：151119760

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内容简介

作者简介

前言
1 范围
2　规范性引用文件
3　型号与基本参数
4　技术要求
　4．1 设备正常工作条件
　4．2 结构要求
　4．3 制造质量
　4．4　安全防护要求
5　试验方法
　5．1 极限压力的测定
　5．2　抽气时间的测定
　5．3　升压率的测定
　5．4　溅射电流的变化率的测定
　5．5　测量用仪表设备
6 检验规则
7　标志、包装、运输和贮存
　7．1 标志
　7．2 包装
　7．3　运输
　7．4　贮存
表1　基本参数