| 第1章 半导体技术概述 1?1 半导体技术 1?1?1 半导体集成电路发展史 1?1?2 半导体技术的发展趋势 1?2 半导体与电子制造 1?2?1 电子制造基本概念 1?2?2 电子制造业的技术核心 习题 第2章 半导体物理基础 2?1半导体能带 2?1?1 电子的共有化 2?1?2 能带 2?1?3 杂质能级 2?2 半导体的载流子运动 2?2?1 载流子浓度与费米能级 2?2?2 载流子的运动 习题 第3章 硅半导体材料基础 3?1 半导体材料概述 3?1?1 半导体材料的发展 3?1?2 半导体材料的分类 3?2 硅材料的主要性质 3?2?1 硅材料的化学性质 3?2?2 硅材料的晶体结构 3?2?3 硅材料的电学性质 3?2?4 硅材料的热学性质 3?2?5 硅材料的机械性质 3?3 硅单晶的制备技术 3?3?1 高纯硅的制备 3?3?2 硅的提纯技术 3?3?3 硅的晶体生长 3?3?4 晶体中杂质与缺陷 3?4 集成电路硅衬底加工技术 3?4?1 硅单晶抛光片的制备 3?4?2 硅单晶抛光片的质量检测 3?5 硅的外延生长技术 3?5?1 外延生长概述 3?5?2 硅气相外延生长技术 习题 …… 第4章 化合物半导体材料基础 第5章 P?N结 第6章 双极型晶体管 第7章 MOS场效应晶体管 第8章 其他常用半导体器件 第9章 半导体工艺化学基础 第10章 半导体集成电路设计原理 第11章 半导体集成电路设计方法与制造工艺 参考文献 |
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