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| 姓名：(美)Mohamed Gad-el-Hak 张海霞著 作者简介： 作品：《微机电系统应用》 姓名：(美)Mohamed Gad-el-Hak 张海霞 赵小林 金玉丰著 作者简介： 作品：《微机电系统应用》 |
| 第2章 惯性传感器 2.1 简介 惯性传感器是指将惯性力转换成可测信号（一般是具有一定灵敏度的线性输出电压）的转换器。目前，适用于宏观惯性传感器的原理和方法在微机械传感器中得到了广泛的应用，那么，是什么因素导致一定要引入微机械惯性传感器呢？首先，对不同的直线和旋转运动传感器的应用需求需要有相应的微加工技术、设计和系统架构；其次，尽管各种敏感机理和微加工技术在传统的惯性传感器中也得到了大量的应用，但是从系统的角度来说对微型传感器的需求更加迫切。本章将从如下几个方面讲述微惯性传感器：微惯性器件的经典应用；直线运动惯性传感器即加速度计的参数设计，检测惯性位移的主要物理机制；角速率传感器即陀螺的旋转运动惯性速率传感器的特有参数设计；几种常用的微加工工艺及其对微型传感器设计的影响。 2.2 惯性传感器的应用 在微型传感器的应用中通常需要考虑封装体积或尺寸、系统成本和性能等三个主要方面，一般来说一种技术不可能同时满足三个方面的要求。相对宏观情况而言，微惯性传感器的封装体积或系统总尺寸是较容易实现的，这是因为微加工技术能够将敏感元件和电路元件集成为单个芯片或将两个芯片封装在很小的塑料或陶瓷管壳中，图2.1所示是两个实例。 微惯性传感器的系统成本也是一个重要方面。由于采用与微电子工艺兼容的工艺，微惯性传感器能够大批量加工从而显著地降低了工艺的限制。尽管微加工的许多单步工艺比相应的宏观器件工艺贵得多，但综合考虑到微传感器小尺寸的巨大优势，单步工艺对成本的影响就明显下降了。 …… 更多 |
| 译丛序言 译者序 第1章 绪论 参考文献 第2章 惯性传感器 2.1 简介 2.2 惯性传感器的应用 2.3 加速度的基本概念 2.4 直线运动惯性传感器参数 2.5 旋转运动的惯性传感器参数 2.6 惯性传感器件的微机械加工技术 2.7 微加工工艺加工问题 2.8 惯性传感器的系统问题 2.9 结束语 参考文献 第3章 微机械压力传感器：器件、接口电路及性能 3.1 简介 3.2 器件结构和性能测试 3.3 压阻式压力传感器 3.4 电容式压力传感器 3.5 伺服控制压力传感器 3.6 其他压力传感方式 3.7 结论 参考文献 第4章 表面微加工器件 4.1 引言 4.2 材料特性和几何结构 4.3 应力与应变 4.4 机械设计 4.5 封装 4.6 应用 4.7 mems失效机理 4.8 结论 参考文献 第5章 微执行器 5.1 引言 5.2 压电执行器 5.3 电磁驱动器 5.4 形状记忆合金驱动器 参考文献 第6章 湍流传感器与执行器 6.1 绪论 6.2 mems工艺概述 6.3 湍流 6.4 用于湍流测量和控制的传感器 6.5 用于流动控制的微执行器 6.6 微透平机械 6.7 结论 参考文献 第7章 微机器人技术 7.1 引言 7.2 什么是微机器人 7.3 微机器人的应用环境 7.4 微机器人的制造技术 7.5 微机器人器件 7.6 多机器人系统（微型工厂和桌面工厂） 7.7 结论与讨论 参考文献 第8章 微型真空泵 8.1 引言 8.2 基础知识 8.3 泵尺度 8.4 mems真空系统的极限压强 更多 |
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