| 姓名：王占国 陈立泉 屠海令著 作者简介： 作品：《信息功能材料手册-[中]》《信息功能材料手册:上》《信息功能材料手册:下》《中国材料工程大典(第13卷):信息功能材料工程(下)(精装)》《中国材料工程大典(第11卷):信息功能材料工程(上)(精装)》《中国材料工程大典(第12卷):信息功能材料工程(中)(精装)》 |
| 第1篇 概论 第1章 信息功能材料在信息技术中的战略地位 第2章 信息功能材料的发展现状和趋势 第2篇 半导体硅材料 第1章 概述 第2章 硅单晶的制备 第3章 硅晶体的机械性质 第4章 硅晶体表面性质 第5章 硅晶体的腐蚀 第6章 硅晶片加工工艺 第7章 硅单晶的缺陷 第8章 硅单晶中轻元素杂质 第9章 硅单晶中的过渡族金属杂质和吸杂 第10章 其它硅材料 第11章 硅材料的发光 第3篇 集成电路制造技术 第1章 集成电路设计技术 第2章 微细加工技术 第3章 集成电路工艺技术 第4章 cmos器件及电路制造技术 第5章 双极型器件及电路制造技术 第6章 半导体功率器件及电路 第7章 化合物半导体器件和电路 第8章 集成电路封装技 更多 |
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