| Gary S．May博士是乔治亚理工大学电子和计算工程学院的教授，他是IEEE会员和制造工程师协会的资深会员。在IC计算机辅助制造领域，他发表了150多篇文章，并作了100多场技术讲座。 .. << 查看详细 |
| 译者序 原书前言 第1章 半导体制造引论 目标 引言 1.1 历史的演进 1.2 现代半导体制造 1.3 制造的目标 1.4 制造系统 1.5 本书后续部分的概述 小结 问题 参考文献 第2章 技术纵览 目标 引言 2.1 单元过程 2.2 过程集成 小结 问题 . 参考文献 第3章 过程监控 目标 引言 3.1 过程流程和主要度量点 3.2 圆片状态度量 3.3 设备状态测量 小结 问题 参考文献 第4章 统计基础 目标 引言 4.1 概率分布 4.2 从正态分布中取样 4.3 估计 4.4 假设检验 小结 问题 参考文献 第5章 产出建模 目标 引言 5.1 产出组成的定义 5.2 功能性产出模型 5.3 功能性产出模型组成 5.4 参数性产出 5.5 产出仿真 5.6 以设计为中心 5.7 过程导入和产出时间 小结 问题 参考文献 第6章 统计过程控制 第7章 半导体制造的统计实验设计 第8章 半导体制造的过程建模 第9章 半导体制造的高级过程控制 第10章 半导体制造的过程与设备的故障诊断 附录 |
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