气相沉积应用技术

.5.1 沉积温度
5.2 沉积室压力
5.3 反应气体分压(配比)
6 化学气相沉积装置
6.1 cvd装置基本构成
6.2 负压cvd装置主要性能简要说明
7 高温化学气相沉积技术
7.1 ht—cvdd硬质涂层种类和性能
7.2 ht—cvd工艺技术
8 中温化学气相沉积(mt—cvd)技术
8.1 mt—cvd反应机理
8.2 mt—cvd工艺过程及设备
8.3 mt—cvd沉积ticn涂层组织结构及特性
8.4 高性能涂层材料及其沉积工艺技术
8.5 高性能涂层硬质合金刀具组织结构及特性
参考文献
第3章 物理气相沉积技术
1 物理气相沉积技术概论
1.1 物理气相沉积分类
1.2 物理气相沉积的特点
2 物理气相沉积技术基础
2.1 物理气相沉积相关的真空物理基础
2.2 低温等离子体物理基础
3 物理气相沉积技术
3.1 真空蒸发镀
3.2 离子镀
3.3 电子枪蒸发源二极型离子镀
3.4 热阴极离子镀
3.5 射频离子镀
3.6 集团离子束离子镀
3.7 活性反应离子镀
3.8 空心阴极离子镀
3.9 热丝弧枪离子镀
3.10 电弧离子镀
3.11 磁控溅射镀
3.12 离子束及其在气相沉积方面的应用
参考文献
第4章 等离子体增强化学气相沉积技术
1 等离子体增强化学气相沉积技术机理
2 等离子气体产生过程及性质
2.1 多原子分子具有平动、旋转和振动自由度
2.2 分解
2.3 电离
3 等离子体化学反应过程
4 等离子体增强化学气相沉积装置
5 等离子体增强化学气相沉积工艺过程及特点
5.1 pecvd 211艺过程
5.2 pecvdi艺特点
5.3 采用直流脉冲pecvd技术是硬质涂层的主要发展方向
6 等离子体增强化学气相沉积涂层组织特征
6.1 等离子体增强化学气相沉积涂层类型
6.2 等离子体增强化学气相沉积涂层组织特征
参考文献
第5章 气相沉积设备
1 化学气相沉积设备系统
1.1 cvd涂层设备系统主要技术指标
1.2 cvd涂层设备系统各部分功能及设计要求
1.3 典型生产用cvd涂层设备
2 等离子体增强低温化学气相沉积设备
2.1 直流脉冲电源特性
2.2 等离子体增强化学气相沉积设备
3 物理气相沉积设备及配套系统
3.1 真空室
3.2 真空获得与真空泵
3.3 进气系统
3.4 真空测量
3.5 气相沉积技术中的电源
参考文献
第6章 预处理主要辅助设备
1 清洗
2 刃口强化
2.1 刃口强化作用
2.2 刃口强化工艺及设备
3 喷砂
参考文献
第7章 膜层质量测试
1 膜层质量测试内容
2 性能检验
2.1 膜层硬度测量
2.2 膜层厚度测量
2.3 膜层附着力测试
2.4 膜层内应力测试
3 膜层的微区检测
3.1 显微组织形貌分析
3.2 膜层的晶体结构分析
3.3 膜层成分分析
参考文献
第2篇 气相沉积技术应用领域
第1章 气相沉积技术在硬质涂层中的应用
1 硬质涂层制品在机械工业中的应用
1.1 机械工业发展对涂层工具、模具性能的要求
1.2 硬质涂层工具的作用
1.3 涂层工模具所占市场份额
2 新型硬质涂层的发展趋势
2.1 新的金属陶瓷硬质涂层
2.2 多元复合涂层
2.3 多层复合涂层
2.4 纳米复合涂层
2.5 纳米晶.非晶复合涂层
2.6 非金属超硬涂层
3 硬质涂层制品应用
3.1 硬质涂层切削工具的应用
3.2 硬质涂层模具及耐磨损、耐腐蚀零件应用
4 不同硬质涂层的实用沉积工艺技术
4.1 硬质合金刀具典型cvd实用工艺技术
4.2 高速钢刀具pvd实用工艺技术..
4.3 模具pecvd实用工艺技术
5 非金属超硬涂层沉积技术
5.1 金刚石涂层的沉积技术及应用
5.2 立方氮化硼涂层的沉积技术及应用
5.3 氮化碳涂层气相沉积技术及应用
5.4 纳米级涂层和纳米超硬多层
复合涂层沉积技术及应用
参考文献
第2章 气相沉积技术在防护涂层方面的应用
1 防护涂层的作用
1.1 防护涂层性能
1.2 获得防护涂层的方法
1.3 用气相沉积技术获得防护涂层的独特性
2 耐腐蚀涂层
2.1 防腐涂层的种类
2.2 气相沉积技术耐腐蚀层的应用领域
2.3 防腐蚀层的气相沉积技术
3 热障涂层
3.1 热障涂层的组成
3.2 热障涂层的气相沉积技术
参考文献
第3章 气相沉积技术在光学薄膜领域中的应用
1 光学薄膜的应用领域
1.1 光学薄膜的应用范围
1.2 光学薄膜的功能
2 光学薄膜特性
2.1 在不同媒质界面上光的反射
2.2 减反膜(增透膜)
2.3 反射膜
2.4 截止滤光片
2.5 选择吸收膜
3 光学薄膜的气相沉积技术
3.1 减反膜(增透膜)的沉积工艺
3.2 反射膜的沉积工艺
3.3 选择吸收膜的沉积工艺
4 光学防伪薄膜
4.1 防伪技术的现状与薄膜防伪技术的发展
4.2 防伪膜的基本理论
4.3 整膜防伪膜的设计与工艺举例
4.4 碎膜防伪技术要点
参考文献
第4章 气相沉积技术在建筑镀膜玻璃方面的应用
1 建筑镀膜玻璃的功能
2 普通玻璃的光学性能
3 镀膜玻璃的遮阳隔热原理
3.1 阳光控制膜
3.2 低辐射率膜
3.3 阳光控制膜和低辐射率膜的材料
4 智能窗玻璃
4.1 智能窗玻璃的应用
4.2 智能窗玻璃的种类
4.3 各种智能薄膜变色的机制
4.4 智能窗玻璃薄膜的沉积工艺
5 防雾防露和自清洁玻璃
5.1 防雾防露和自清洁玻璃的功能
5.2 光催化机理
5.3 防雾防露和自清沽玻璃的沉积工艺
参考文献
第5章 气相沉积技术在太阳能利用领域的应用
1 太阳能——取之不尽的能源
2 太阳能光一热转换
2.1 太阳光谱选择性吸收
2.2 太阳能的光.热转换能效薄膜
2.3 太阳能集热器
2.4 太阳光谱选择吸收薄膜的沉积技术
2.5 太阳能热水器合成
3 气相沉积技术在太阳能光.伏转换领域中的应用
3.1 太阳能光.电转换
3.2 太阳能光一电转换薄膜
3.3 太阳能光一电转换薄膜的沉积技术
4 太阳能电池的应用实例
参考文献
第6章气相沉积技术在集成电路制造中的应用
1 集成电路高集成化发展方向
1.1 集成电路在高新技术中的应用
1.2 集成电路的高集成化
2 集成电路类型
2.1 集成电路
2.2 分立器件电路
3 集成电路组成
3.1 有源器件——包括晶体管的器件
3.2 无源元件
4 集成电路加工工艺
4.1 氧化工艺
4.2 刻蚀.光刻工艺
4.3 掺杂.离子注入
4.4 互连布线的沉积和刻蚀
5 分立器件电路的加工
5.1 薄膜电阻器
5.2 薄膜电容器
5.3 薄膜网络器件
5.4 薄膜温度传感器
5.5 薄膜气敏传感器
5.6 高温超导薄膜
5.7 发光器件
参考文献
第7章 气相沉积技术在信息显示器件中的应用
1 信息显示器件的应用
2 信息显示器件的种类
2.1 阴极射线管(crt)
2.2 平板显示器
3 平板显示器件用薄膜
3.1 各种平板显示器的工作原理及相关薄膜
3.2 平板显示器薄膜的气相沉积技术
参考文献
第8章 气相沉积技术在信息存储领域的应用
1 信息存储技术的进展
2 信息存储的类型与存储薄膜
2.1 磁信息存储
2.2 磁光信息存储
2.3 全光信息存储
3 超高密度信息存储材料
3.1 科学技术发展进入了纳米电子器件新时代
3.2 超高密度信息存储材料
4 纳米区内电荷存储技术
参考文献
第9章 气相沉积技术在装饰饰品上的应用
1 装饰品给人们五彩缤纷的生活
1.1 装饰件底材
1.2 装饰薄膜种类
2 金属基材装饰膜的沉积
2.1 金属基材装饰品的应用领域
2.2 金属基材制件对装饰膜层的要求
2.3 金属件装饰膜的沉积工艺
3 塑料件装饰膜的沉积
3.1 塑料镀膜的应用领域
3.2 塑料制品对装饰膜层的要求
3.3 塑料制品装饰膜的真空镀膜工艺
3.4 塑料镀膜中的底漆、面漆
4 真空卷绕镀膜技术
4.1 真空卷绕镀膜技术应用领域
4.2 真空卷绕镀膜技术的设备分类
4.3 真空卷绕镀膜设备的结构特征
4.4 真空蒸发卷绕镀膜设备的组成
4.5 真空磁控溅射卷线镀膜设备结构
4.6 泡沫塑料镀镍
参考文献...