
| 微型传感器是一门多学科交叉的综合性技术,涉及知识面广,更新速度快。面对具体问题时,能查到专业文献、能读懂文献内容、能自行设计实验、能对实验结果进行分析总结,是从事该领域科学研究及工程应用的人员必备的基本专业素养。本书将深入的基础知识阐述与丰富的实例分析相结合,采用大量的图表,系统介绍了热、辐射、机械、磁、化学量微传感器以及微传感器系统等方面的基本理论及实现技术。在每章结尾都给出了推荐阅读与练习思考题,引导读者建立微传感器设计、研究、制作及实验分析等方面的基本理念。 本书可用作高等院校微机电系统、测控技术与仪器等专业的本科及研究生的专业课程教材,也可作为从事相关专业工程技术人员的参考书。 |
| 1 引言 2 微传感器与信号 3 微传感器的常用材料及加工工艺 4 热学量传感器 5 辐射量微传感器 6 机械量微传感器 7 磁微传感器 8 化学量微传感器常用技术 9 化学量微传感器 10 微传感器的数据获取 |
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