| 本书是作者多年来从事MEMS强链研究的总结。 该书的特点是：全面系统地论述了与MEMS强链设计、制造、控制、应用等相关的技术问题，分析深入，关键技术经过实践验证，为保证MEMS强链的可靠性和高安全性而提出的技术措施准确，具有总结性和前瞻性。该书内容虽然针对MEMS强链技术，但对于研发其他MEMS器件或系统，也具有一定的参考价值。 该书可供从事MEMS研究及其应用的科技人员和高等学校相关专业教师阅读参考，也可作为电气工程、机械设计、自动控制等专业的本科高年级学生和研究生的科研参考资料。 |
| 序 前言 第一章 绪论 第二章 UQS独特码 第三章 MEMS强链总体方案 第四章 轴向磁场微电机设计研究 第五章 反干涉齿轮集鉴码机构研究 第六章 MEMS强链控制研究 第七章 MEMS强链的制作技术研究 第八章 MEMS强链的试验 第九章 MEMS强链的物理认证技术 第十章 总结与展望 参考文献 |
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