| 薄膜在微电子器件、肱存储介质和表面封装等技术应用领域发挥着重要作用，本书全面阐述了薄膜中的应力以及因其产生的缺陷形成和表面演化等问题。本书内容兼顾理论、实验和计算机模拟，适合工程技术人员、材料科学和物理学研究人员阅读。本书英文版被美国哈佛大学、布朗大学、麻省理工学院、斯坦福大学等大学用作研究生教材。 |
| 第1章 引言和总论 第2章 薄膜应力和基底曲率 第3章 各向异性和图形薄膜中的应力 第4章 脱层和断裂 第5章 薄膜的翘曲、鼓包和剥离 第6章 外延系统中的位错形成 第7章 位错交互作用和应变弛豫 第8章 表面的平衡和稳定性 第9章 应力在传质中的作用 参考文献 英汉名词索引 |
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