| 菅井秀郎. 编著，执笔：1～4章，6章，7章 1971年 东北大学研究生院工学研究科博士毕业 1971年 获工学博士 现在 名古层大学研究生院工学研究科教授 大江一行 执笔：5章 1966年 名古层工业大学研究生院工学研究科硕士毕业 1975年 获工学博士 现在 名古层工业大学生产系统工程专业教授 张海波.. 1982年 西安交通大学电子工程系毕业 1987年 西安交通大学电子物理与器件专业，获工学硕士 1995年 日本大阪大学工学研究科博士研究.. << 查看详细 |
| 1等离子体电子工程学的学习方法. 1.1等离子体概述 1.2等离子体的各种性质 1.3等离子体的应用 1.4本书的构成 练习题 2等离子体中的微观运动 2.1单个粒子的运动 2.2粒子间的碰撞 2.3弹性碰撞中的能量损失 2.4原子的激发与电离 2.5分子的激发与离解、电离 练习题 3等离子体的宏观性质 3.1分布函数与平均量 3.2等离子体基本方程 3.3等离子体的电中性 3.4粒子流动与密度分布 3.5等离子体鞘层 3.6能量平衡与粒子数平衡 .练习题 4气体放电与等离子体的形成 4.1气体的绝缘击穿——汤生的实验和理论 4.2放电起始电压——帕邢定律 4.3气体放电中的等离子体状态 4.4汤生理论的局限性 练习题 5等离子体的生成方法ⅰ——直流放电 5.1各种放电方法与放电模式 5.2辉光放电与低温等离子体.. 5.3电弧放电与热等离子体 5.4电晕放电与高气压低温等离子体 5.5磁控管放电 练习题 6等离子体的生成方法ⅱ——高频放电、微波放电 6.1等离子体生成与天线耦合 6.2平行板加rf电压——电容耦合等离子体 6.3线圈通rf电流——感应耦合等离子体 6.4等离子体中的波 6.5强电波照射——表面波等离子体 6.6使用磁场中的波——ecr等离子体和螺旋波等离子体 练习题 7等离子体在电子、环境工程中的应用 7.1lsi制造工艺中的等离子体刻蚀法 7.2非晶硅薄膜的等离子体cvd制备法 7.3等离子体显示器件的工作原理 7.4利用等离子体的环境改善技术 练习题 练习题解答 参考文献 附录 篇外话 “等离子体”名称的由来 原子的内部状态和光谱标记 朗缪尔探针 流注的形成 表面磁场对等离子体的约束作用 朗道衰减与回旋衰减 用强光生成等离子体... |
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