| 前言 第一章 半导体材料概论 1.1 半导体技术发展概况 1.2 半导体材料综述 1.3 半导体材料制备概述 参考文献 第二章 半导体材料的基本特性参数 2.1 迁移率 2.2 载流子密度和电阻率 2.3 少数载流子寿命 参考文献 第三章 半导体材料的器件适性 3.1 双极器件的材料品质因子 3.2 单极器件的材料品质因子 3.3 热品质因子 3.4 功率器件的优选材料 参考文献 第四章 杂质工程和能带工程 4.1 掺杂与掺杂均匀性 4.2 嬗变掺杂 4.3 外加磁场下的单晶生长技术 4.4 音导体固溶体 4.5 量子阱效应与半导体超晶格 参考文献 第五章 半导体材料测试与分析 5.1 电阻率与杂质浓度测试 5.2 少数载流子寿命测试 5.3 深能级测试 5.4 光学常数测试 5.5 光电特性分析 5.6 组份分析 5.7 结构分析 参考文献 附录 碳化硅材料与器件研发新进展 参考文献 |
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