| 作者均为日本工作在微电子专业教学科研第一张的教授专家，书中内容新颖、重点突出，文字叙述深入浅出、流畅易懂。书中还穿插有篇外话作为正文内容的补充说明。各章末均有练习题，书后附有练习题解答。 |
| 集成电路A 1 集成电路的学习方法 1·1 集成电路的发明 1·2 集成电路发展的动力 1·3 集成电路的未来 1·4 本书的构成 练习题 引用文献 2 集成电路中的半导体器件 2·1 pn结 2·2 双极型晶体管 2·3 MOS晶体管 2·4 集成电路中的无源元件 练习题 引用文献 3 集成电路的基础工艺 3·1 采用硅单晶制造集成电路的理由 3·2 氧化、扩散及离子注入技术 3·3 形成精细图形的光刻技术 3·4 腐蚀技术 3·5 薄膜淀积技术 练习题 引用文献 4 集成电路的制造工艺 4·1 集成电路的基本结构 4·2 双极型集成电路的制造 4·3 MOS集成电路的制造 4·4 多层布线 练习题 5 数字集成电路的基本电路 5·1 数字集成电路的基本电路 5·2 CMOS集成电路的基本电路 5·3 集成电路掩模的设计 练习题 引用文献 6 工艺、器件及电路的模拟技术 6·1 假想工厂 6·2 制造工艺的模拟 6·3 器件电特性的模拟 6·4 基本电路特性的模拟 6·5 模拟结果和实际的差异 练习题 引用文献 练习题解答 参考文献 集成电路B |
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