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| 概述：MEMS可靠性导论 1 MEMS材料力学性能评价及评价标准 1.1 简介 1.2 薄膜材料的力学性能与MEMS 1.2.1 弹性性能 1.2.2 内应力 1.2.3 强度 1.2.4 疲劳 1.3 力学性能评价的关键问题 1.3.1 样品 1.3.2 测试方法 1.3.3 标准 1.4 薄膜拉伸测试方法的综合比对 1.4.1 拉伸测试方法 1.4.2 样品设计 1.4.3 材料 1.4.4 样品制备 1.4.5 结果 1.4.5.1 单晶硅与多晶硅 1.4.5.2 镍 1.4.5.3 钛 1.4.6 讨论 1.5 MEMS材料的国际标准 1.5.1 MEMS标准化机构 1.5.1.1 IEC 1.5.1.2 ASTM International 1.5.1.3 SEMl 1.5.1.4 日本微机械中心- 1.5.2 薄膜单轴应力测试的国际标准 1.6 结论 参考文献 2 匀质材料和涂层一衬底复合材料的弹塑性压入接触力学 2.1 简介 2.2 微纳压痕仪 2.3 压人载荷与压入深度的关系 2.4 圆锥／棱锥形压痕的弹塑性接触变形理论 2.4.1 弹性接触 2.4.2 塑性接触 2.4.3 弹塑性接触 2.4.4 压入接触面积Ac与Oliver-Pharr／Fiel&Swain近似 2.4.5 压入接触的能量原理 2.5 涂层-衬底复合材料的接触力学 2.5.1 弹性压入接触力学 2.5.2 弹塑性压入接触力学 2.6 结论 2.7 备注 参考文献 3 MEMS薄膜材料的鼓胀测试 3.1 简介 3.2 理论 3.2.1 单层膜片的基本定义 3.2.2 平面应变条件下的多层膜片 3.2.3 化简为无量纲形式 3.2.4 薄膜 3.2.5 基本步骤 3.3 载荷一挠度模型 3.3.1 简介 3.3.1.1 直接解 3.3.1.2 变分分析法 3.3.1.3 有限元分析 3.3.2 方形膜片 3.3.2.1 近似载荷一挠度公式 3.3.2.2 方形薄膜 3.3.3 矩形膜片 …… 4 MEMS材料的轴向拉伸测试 5 MEMS的在片测试 6 电容式压力传感器的可靠性 7 惯性传感器的可靠性 8 高精度、高可靠MEMS加速度传感器 9 MEMS可变光衰减器的可靠性 10 扫描MEMS谐振微镜的可靠性 参考文献 |
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