您现在的位置：快乐比价网 > 图书 > 计算机与网络 > 电子电路与微处理器 > 商品详情

CMOS MEMS技术与应用

分享到：

最低价：￥58.30

定价：￥78.00

作者：(美)O.Brand 著

出版社：东南大学出版社

出版时间：2007 年7月

I S B N：9787564107840

价格比较

商品详情

商品评论(0条)

CMOS MEMS技术与应用

送货上门

价格
缺货

CMOS MEMS技术与应用

送货上门

价格
58.30元

CMOS MEMS 技术与应用

送货上门

价格
58.50元

CMOS MEMS技术与应用/微纳系统系列译丛

送货上门

价格
64.00元

CMOS MEMS技术与应用

送货上门

价格
70.20元

商品详情

编辑推荐

内容简介

本书是目前国内外唯一叙述集成化mems的专著。cmos电路技术是当今微电子的主流技术，本书主要介绍如何将mems与cmos电路集成的方法和应用。内容包括cmos mems的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术；cmos mems技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器、生化传感器、热传感器和rf器件及系统中的应用。
　　本书由国际上20余位知名专家撰写，内容丰富，参考文献全面。适合于微电子技术、微机电系统（mems）技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。

作者简介

Oliver Brand：1990年在德国Technical University of Karlsruhe获硕士学位，1994年在瑞士ETH Zurich获博士学位，目前是Georgia Institute of Technology教授。其主要研究方向是CMOS微纳系统、MEMS制造技术、微系统封装，在这些领域发表100余篇论文，2本著作，目前担任国际期刊《Sensors and Materials》编委及许多MEMS相关的国际会议程序委员会委员。.
Gary K．Fedder：分别于1982和1984年在MIT获得学士和硕士学位，1994年在UC Berkeley获博士学位，并研制出第一个用Σ-Δ多模态静电伺服控制的微结.. << 查看详细

1　制造工艺
　1.1　cmos工艺
　1.2　cmos兼容的微机械加工工艺模块
　1.3　mems和nems的cmos兼容设计
　1.4　cmos的微机械加工
　1.5　结束语
　1.6　参考文献
2　材料表征
　2.1　引言
　2.2　电特性和热电特性
　2.3　热特性
　2.4　机械特性
　2.5　结束语
　2.6　参考文献
3　单片集成惯性传感器
　3.1　引言
　3.2　集成多晶硅惯性传感器
　3.3　采用cmos标准工艺加工的薄膜惯性传感器
　3.4　金属惯性传感器
　3.5　体硅加工集成mems惯性传感器

.　3.6　发展趋势
　3.7　参考文献
4　cmos　mems声学器件
　4.1　引言
　4.2　麦克风
　4.3　扬声器
　4.4　超声
　4.5　结论
　4.6　参考文献
5　cmos　rf　mems
6　cmos压力传感器
7　cmos化学传感器
8　生物测定cmos电容式指纹传感器系统
9　cmos生化敏感系统
10　cmos热传感器
11　电路和系统集成