《微电子生产设备安装工程施工及验收规范》由中国计划出版社出版。 |
l 总则 2 术语 3 基本规定 3.1 施工条件 3.2 施工准备 3.3 定位放线 3.4 设置特殊基础 3.5 壁板开洞 3.6 室外搬运 3.7 设备开箱及吊装 3.8 室内搬运 3.9 设备安装就位 3.10 二次配管配线 3.11 二次配管压力试验 4 单机调试及试运转 5 工程验收 5.1 一般规定 5.2 交接验收 5.3 竣工验收 .5.4 验收不合格处置 附录a 设备安装技术参数 附录b 微电子生产设备安装工艺流程 附录c 人员进出洁净区流程 附录d 工程质量验收记录用表 附录e 典型国产集成电路生产设备单机试运转及验收范例 本规范用词说明 附：条文说明 |
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