| 本书全面系统地介绍了有关微机电系统的基本知识，内容包括：微机电系统概述、微机电系统的材料、硅集成电路工艺基础、MEMS加工技术、微机电系统的设计方法学、微机电系统的组成、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。本书内容丰富，讲解通俗易懂，具有很强的可读性。 |
| 前言 1 微机电系统概述 1.1 微机电系统技术的基本概念及特点 1.2 微机电系统的研究领域 1.3 微机电系统采用的材料 1.4 主要工艺技术 1.5 微机电系统技术的发展 1.6 微机电系统的应用前景 参考文献 2 微机电系统的材料 2.1 概述 2.2 硅 2.3 陶瓷 2.4 金属 2.5 凝胶 2.6 电流变体(Electro－rheological fluids，ERF) 2.7 磁流变体(Magneto－rheological fluids，MRF) 参考文献 3 硅集成电路工艺基础 3.1 薄膜生长 3.2 光刻 3.3 薄膜刻蚀 参考文献 4 MEMS加工技术 4.1 硅的湿法腐蚀 4.2 硅的深刻蚀技术 4.3 键合与双面光刻技术 4.4 集成工艺 4.5 其他工艺技术 参考文献 5 微机电系统的设计方法学 5.1 MEMS设计概述 5.2 MEMS系统级设计 5.3 MEMS器件级设计 5.4 MEMS工艺设计 5.5 版图设计 5.6 IMEE系统及其设计实例 参考文献 6 微机电系统的组成 6.1 微机械传感器 6.2 微驱动器 6.3 微能源 参考文献 7 微机电系统检测技术 7.1 概述 7.2 微几何量测量 7.3 微机械材料特性检测 参考文献 8 微机电系统的应用 8.1 微机电系统在医学中的应用 8.2 微机电系统在汽车中的应用 8.3 微机电系统在信息技术中的应用 8.4 微机电系统在军事领域中的应用 参考文献 |
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