本标准代替JB/T 5610－1991《双频激光干涉仪》。
本标准与JB/T 5610－1991相比，主要变化如下：
——标准的名称改为“激光干涉仪”，并重新定义了“激光干涉仪”术语：
——标准的范围改为“适用于几何量测量”；
——删去了第3章中的3.2条“分辨率”；第4章表1中的“分辨率”改称“分辨力”，分辨力改为≤0.16um；
——将术语“响应速度”改称为“最大测量速度”，并重新定义了“最大测量速度”术语，最大测量速度改为≥50mm/s；
——第4章表1中的量程改为≥1m；
——第4章表1中的激光波长准确度改为≤1×10-6；
——激光干涉仪工作前的预热时间改为“不超过20min”；
——激光器的寿命“应不低于2年”改为“应不低于20000h”；
——增加了单次开机激光频率稳定8h的变化量应不大于1um；
——明确了检验规则，将检验分为了型式检验、交收检验两种：
——抗电磁干扰试验采用了GB/T 17626.2－1998《电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验》和GB/T 17626.3－1998《电磁兼容试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验》中规定的方法。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国量具量仪标准化技术委员会（SAC/TC132）归口。 |
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