前言
1 范围
2 规范性引用文件
3 术语和定义
4 产品分类
4.1 品种和规格
4.2 型号
4.3 主要参数
5 技术要求
5.1 一般要求
5.2 对设计和制造的补充要求
5.3 性能要求
5.4 成套要求
6 试验方法
6.1 压升率的测量
6.2 炉温均匀度的测量
6.3 加热能力和热炉抽气能力试验
6.4 运动参数相对偏差的测量
6.5 速度百分偏差的测量
6.6 爬行量的测量
6.7 工业拉晶试验
6.8 晶体直径偏差的测量
7 检验规则
7.1 单晶炉的出厂检验项目
7.2 单晶炉的型式检验项目
8 标志、包装、运输和贮存
9 订购与供货 |
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