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| 本书将多学科的基础知识有机联系起来，带领大家进入微系统设计世界。这些知识是工作在MEMS领域的工程师所必不可少的。 全书涉及的主题范围广泛，包括：微加工技术、机械学、热流理论、电子学、噪声、带反馈或不带反馈的系统动力学等。因为很难简要地阐明“优良”设计的基本原理，本书以提供一组实例研究的方式进行组织，这些实例研究或者基于真实的产品，或者基于已发表在文献中的产品原型。 实例研究的选择范围是那些具有多方面代表性的范例：不同的加工制作方法，不同的应用领域，在换能方式上运用不同的物理效应。实例研究的主要对象是下列器件的设计与封装：压阻式压力传感器、电容式加速度计、利用石项压电驱动与感测的陀螺仪、两种静电致动光投影显示器、两种DNA扩增微系统以及一种用于可烯气体测量的催化传感器。 本书是麻省理工学院研究生课程“微机电系统设计与制作”的教材，适合高年级本科生和研究生学习MEMS使用，也可作为MEMS专业人士的参考书。 第一章都含有家庭作业和相关阅读文献作为教材的补充。本书还有一个专门的Web网站对其提供支持，其上放有更多的家庭作业、练习和一些推荐的设计习题，以及一些有关本书例题、家庭作业习题方面的教学资料。 |
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| 第一部分 基础知识 第1章 引言 第2章 MEMS设计方法 第3章 微制造技术 第4章 工艺集成 第二部分 建模策略 第5章 集总参数建模 第6章 能量守恒换能器 第7章 动力学 第三部分 特定领域的细节 第8章 弹性力学 第9章 结构 第10章 能量法 第11章 耗散系统和热能域 第12章 集总建模和耗散过程 第13章 流体 第四部分 电路与系统问题 第14章 电子学 第15章 反馈系统 第16章 噪声 第五部分 实例研究 第17章 封装 第18章 压阻式压力传感器 第19章 电容式加速度计 第20章 静电投影显示器 第21章 压电速率陀螺仪 第22章 用于DNA扩增的微系统 第23章 微桥气体传感器 附录A 参数符号表 附录B 电磁场 附录C 立方材料的弹性常数 参考文献 |
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